Ziel
The objective of this project was to develop polycrystalline silicon thin films and technologies for column bus drivers and line bus drivers to replace external chemical vapour deposition (IC) for peripheral driver circuits of active matrix liquid crystal displays (LCD). The main task was to develop a low temperature deposition process for the thin semiconductor films compatible with the glass substrates used for the LCD. The investigated deposition processes were plasma enhanced chemical vapour deposition (CVD) and electron gun evaporation, whereas low pressure CVD was used to establish the thin film transistors (TFT) process technology. Furthermore, elementary TFT circuits, suitable for bus driver shift registers, were investigated and developed. Driver prototypes of short length were also combined with LCD matrices and tested.
technologies can also affect other applications in large-area microelectronics, such as motionless scanners.
The objective of this project was to develop polycrystalline silicon(pSi) thin films and technologies for column-bus and line-bus drivers to replace external ICs for peripheral driver circuits of active matrix liquid crystal displays(LCDs).
The main task was to develop a low-temperature deposition process for the thin semiconductor films compatible with the glass substrates used for the LC display. The investigated deposition processes were Plasma Enhanced CVD and Egun evaporation, whereasLow Pressure CVD was used to establish the TFT process technology. Furthermore, elementary TFT circuits, suitable for bus driver shift registers, were investigated and developed. Driver prototypes of short length were also combined with LCD matrices and tested.
Progress and Results
The following results were achieved:
-Polycrystalline Si films prepared below 600 oC on borosilicate glasses were processed to produce TFTs.
-TFTs, prepared from Egun Si films deposited at 550 oC, used an atmospheric pressure CVD-deposited SiO2 layer. These TFTs showed field effect mobilities up to 16cm2/V and enabled a better yield than TFTs using plasma-processed gate insulators.
-With PECVD, the capability exists to prepare Si3N4 transistors with field effect mobilities up to 35 cm2/Vs in Silayers.
Using these deposition processes there is no need to use the costly process of ion implantation to obtain TFTs with the requested characteristics. Furthermore, at the above-mentioned deposition temperatures high-quality glass substrates can be used instead of the expensive quartz substrates needed for higher temperatures. Nevertheless, additional investigation will be necessary to reduce the deposition temperature to values where cheap soda lime glass substrates can be used.
A new TFT-equivalent circuit was inserted into the SPICE simulation programme, from which a five-level inverter with static TFTs could be simulated. Tests of the dynamic behaviour of this programme were performed, and good correlation with actual TFT was found.
Although the project was originally planned to last 5years, it stopped after in May1988, after only 3 years, by common agreement between the partners, following the decision of CNET to work on a production line in a competitive environment using some ofthe initial results (two-masks process for TFT manufactured with LPCVD-deposited pSifilms).
The goal expected for the end of the project (mid-1990), ie driver circuits on soda lime glass able to address a 300x300pixels LCD matrix with a resolution of 4pixels per millimetre, has obviously been not achieved. But the work scheduled for the lasttwo years in this project is now a part of the ongoing ESPRITproject on Active Matrix LCDs (number 2283). It is included in this new project as a specific task to be carried out by the same companies, AEG and CETIA.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: https://op.europa.eu/de/web/eu-vocabularies/euroscivoc.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: https://op.europa.eu/de/web/eu-vocabularies/euroscivoc.
- Technik und Technologie Werkstofftechnik Beschichtung
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Halbleiterbauelement
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Mikroelektronik
- Naturwissenschaften Chemiewissenschaften anorganische Chemie Metalloide
- Technik und Technologie Werkstofftechnik Flüssigkristall
Sie müssen sich anmelden oder registrieren, um diese Funktion zu nutzen
Wir bitten um Entschuldigung ... während der Ausführung ist ein unerwarteter Fehler aufgetreten.
Sie müssen sich authentifizieren. Ihre Sitzung ist möglicherweise abgelaufen.
Vielen Dank für Ihr Feedback. Sie erhalten in Kürze eine E-Mail zur Übermittlungsbestätigung. Wenn Sie sich für eine Benachrichtigung über den Berichtsstatus entschieden haben, werden Sie auch im Falle einer Änderung des Berichtsstatus benachrichtigt.
Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Daten nicht verfügbar
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Daten nicht verfügbar
Koordinator
60528 Frankfurt am Main
Deutschland
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.