Metrology for future 3D-technologies

Informations projet

METRO4-3D

N° de convention de subvention: 688225

DOI

10.3030/688225

Projet clôturé

Date de signature de la CE 25 Novembre 2015

Date de début 1 Février 2016

Date de fin 31 Janvier 2019

Financé au titre de

• INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies - Information and Communication Technologies (ICT)

Coût total

€ 3 349 813,75

Contribution de l’UE

€ 2 689 035,00

Coordonné par

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

CORDIS fournit des liens vers les livrables publics et les publications des projets HORIZON.

Les liens vers les livrables et les publications des projets du 7e PC, ainsi que les liens vers certains types de résultats spécifiques tels que les jeux de données et les logiciels, sont récupérés dynamiquement sur OpenAIRE .

Livrables

Documents, reports (5)

Report on organized training on the instrument
Report on dissemination activities
Summary of the access time on the instruments
Report 2 on dissemination activities

Report on dissemination activities

Report documenting the detailed technical specifications of the individual components

Websites, patent fillings, videos etc. (1)

Set-up of the website and strategic board

Publications

Peer reviewed articles (1)

Accretion Detection via Scanning Acoustic Microscopy in Microelectronic Components - Considering Symmetry Breaking Effects

Auteurs: Eva Grünwald, René Hammer, Jördis Rose, Bernhard Sartory, Roland Brunner
Publié dans: Microscopy and Microanalysis, Numéro 23/S1, 2017, Page(s) 1466-1467, ISSN 1431-9276
Éditeur: Cambridge University Press
DOI: 10.1017/S1431927617007991