Objetivo This project continues the theme of Project 193 by determining the reproducibility of the determination of thin oxide film thickness using AES and XPS whilst at the same time improving quantification procedures and determining important reference data for the oxide system studied. Results Samples of 230 nm thick Al203 on Al were produced and characterized using nuclear reaction analysis. XPS was then used to determine Al and O peak positions, intensities, chemical shifts and the oxide thickness using the spectrometer energy calibration determined in project 193. In addition the layer was sputter depth profiled using AES and the BCR 260 Ta205 oxide thickness reference material. The very consistent results gave the following - the binding energies of the metallic states Al 2p and Al 4f7/2 are 73.0 +/- 0.1 eV and 118.0 +/- 0.2 eV; - the chemical shifts of Al(3+) in the oxide layer are 2.8 +/- 0.1 eV and 2.5 +/- 0.1 eV; - using the oxide thickness obtained with nuclear reaction analysis and the ratios of the oxide thickness to electronattenuation length from XPS, the attenuation lengths forAl203 are (Al2p)MgKa = 17.7 degrees A and (Al2p)AlKa = 20.5 degrees A; - the ratios of the photoelectron yields of oxygen toaluminium are Y(01s)/Y(Al2p) = 6.1 +/- 0.7 and Y(01s)/Y(Al2s)= 5.0 +/- O.7; - the LMM and KLL A AES energies of Al in Al203 53.5 +/- 2.8 eVand 1389.5 +/- 3.5 eV, the corresponding values for Al metal being 66.4 +/- 2.8 eV and 1394.4 +/- 4.0 eV; - the relative etching rate between Al203 and Ta205 is 0.69 +/- 0.17 Ámbito científico natural scienceschemical sciencesinorganic chemistrypost-transition metals Programa(s) FP2-BCR 4 - Research and development programme (EEC) in the field of applied metrology and chemical analysis (Community Bureau of Reference - BCR), 1988-1992 Tema(s) Data not available Convocatoria de propuestas Data not available Régimen de financiación CSC - Cost-sharing contracts Coordinador Université de Paris VI (Université Pierre et Marie Curie) Aportación de la UE Sin datos Dirección Paris Francia Ver en el mapa Coste total Sin datos Participantes (9) Ordenar alfabéticamente Ordenar por aportación de la UE Ampliar todo Contraer todo Alcan International Ltd Reino Unido Aportación de la UE Sin datos Dirección Ver en el mapa Coste total Sin datos Central Electricity Generating Board (CEGB) Reino Unido Aportación de la UE Sin datos Dirección Ver en el mapa Coste total Sin datos Chalmers Univ Suecia Aportación de la UE Sin datos Dirección Ver en el mapa Coste total Sin datos Ecole Polytechnique Federale Suiza Aportación de la UE Sin datos Dirección Ver en el mapa Coste total Sin datos IRSID Francia Aportación de la UE Sin datos Dirección Ver en el mapa Coste total Sin datos Max Planck Institut Stuttgart Alemania Aportación de la UE Sin datos Dirección Stuttgart Ver en el mapa Coste total Sin datos Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften eV Alemania Aportación de la UE Sin datos Dirección 40237 Düsseldorf Ver en el mapa Coste total Sin datos Univ. Delft Países Bajos Aportación de la UE Sin datos Dirección Ver en el mapa Coste total Sin datos Vereinigte Aluminiumwerke AG Alemania Aportación de la UE Sin datos Dirección Georg-von-Boeselager-Straße 53117 Bonn Ver en el mapa Coste total Sin datos