Cel This project continues the theme of Project 193 by determining the reproducibility of the determination of thin oxide film thickness using AES and XPS whilst at the same time improving quantification procedures and determining important reference data for the oxide system studied. Results Samples of 230 nm thick Al203 on Al were produced and characterized using nuclear reaction analysis. XPS was then used to determine Al and O peak positions, intensities, chemical shifts and the oxide thickness using the spectrometer energy calibration determined in project 193. In addition the layer was sputter depth profiled using AES and the BCR 260 Ta205 oxide thickness reference material. The very consistent results gave the following - the binding energies of the metallic states Al 2p and Al 4f7/2 are 73.0 +/- 0.1 eV and 118.0 +/- 0.2 eV; - the chemical shifts of Al(3+) in the oxide layer are 2.8 +/- 0.1 eV and 2.5 +/- 0.1 eV; - using the oxide thickness obtained with nuclear reaction analysis and the ratios of the oxide thickness to electronattenuation length from XPS, the attenuation lengths forAl203 are (Al2p)MgKa = 17.7 degrees A and (Al2p)AlKa = 20.5 degrees A; - the ratios of the photoelectron yields of oxygen toaluminium are Y(01s)/Y(Al2p) = 6.1 +/- 0.7 and Y(01s)/Y(Al2s)= 5.0 +/- O.7; - the LMM and KLL A AES energies of Al in Al203 53.5 +/- 2.8 eVand 1389.5 +/- 3.5 eV, the corresponding values for Al metal being 66.4 +/- 2.8 eV and 1394.4 +/- 4.0 eV; - the relative etching rate between Al203 and Ta205 is 0.69 +/- 0.17 Dziedzina nauki natural scienceschemical sciencesinorganic chemistrypost-transition metals Program(-y) FP2-BCR 4 - Research and development programme (EEC) in the field of applied metrology and chemical analysis (Community Bureau of Reference - BCR), 1988-1992 Temat(-y) Data not available Zaproszenie do składania wniosków Data not available System finansowania CSC - Cost-sharing contracts Koordynator Université de Paris VI (Université Pierre et Marie Curie) Wkład UE Brak danych Adres Paris Francja Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych Uczestnicy (9) Sortuj alfabetycznie Sortuj według wkładu UE Rozwiń wszystko Zwiń wszystko Alcan International Ltd Zjednoczone Królestwo Wkład UE Brak danych Adres Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych Central Electricity Generating Board (CEGB) Zjednoczone Królestwo Wkład UE Brak danych Adres Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych Chalmers Univ Szwecja Wkład UE Brak danych Adres Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych Ecole Polytechnique Federale Szwajcaria Wkład UE Brak danych Adres Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych IRSID Francja Wkład UE Brak danych Adres Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych Max Planck Institut Stuttgart Niemcy Wkład UE Brak danych Adres Stuttgart Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften eV Niemcy Wkład UE Brak danych Adres 40237 Düsseldorf Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych Univ. Delft Niderlandy Wkład UE Brak danych Adres Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych Vereinigte Aluminiumwerke AG Niemcy Wkład UE Brak danych Adres Georg-von-Boeselager-Straße 53117 Bonn Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych