Objetivo The objective of the project is to produce a photomask linewidth calibration standard covering the dimensional range 0.20 um up to 50 um, with a 95% confidence level uncertainty in the calibration of lines of at least +/- 0.02 um in the 0.2 um up to 10 um range, and of at least +/- 0.05 um in the 10 um to 50 um range. The standard, to be fabricated in high density chromium (optical density greater than 2.5 at 450 nm) on a fused quartz plate coated with a conducting layer, is to be suitable for use in both optical and electron beam systems. Initially, ten artefacts will be manufactured, three of these being calibrated and retained by the Commission, the National Physical Laboratory (NPL) and the Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB). Status: The work is in progress. Ámbito científico natural scienceschemical sciencesinorganic chemistrytransition metals Programa(s) FP2-BCR 4 - Research and development programme (EEC) in the field of applied metrology and chemical analysis (Community Bureau of Reference - BCR), 1988-1992 Tema(s) Data not available Convocatoria de propuestas Data not available Régimen de financiación CSC - Cost-sharing contracts Coordinador National Physical Laboratory (NPL) Aportación de la UE Sin datos Dirección Queen's Road TW11 0LW Teddington Reino Unido Ver en el mapa Coste total Sin datos Participantes (4) Ordenar alfabéticamente Ordenar por aportación de la UE Ampliar todo Contraer todo Dupont Photomask SA Francia Aportación de la UE Sin datos Dirección Rue Olivier Perroy 13790 Rousset Ver en el mapa Coste total Sin datos National Microelectronics Research Center Irlanda Aportación de la UE Sin datos Dirección Ver en el mapa Coste total Sin datos PHYSIKALISCH-TECHNISCHE BUNDESANSTALT Alemania Aportación de la UE Sin datos Dirección Bundesallee 100 BRAUNSCHWEIG Ver en el mapa Enlaces Sitio web Opens in new window Coste total Sin datos Rutherford Appleton Laboratory (RAL) Reino Unido Aportación de la UE Sin datos Dirección Chilton OX11 0QX Didcot Ver en el mapa Coste total Sin datos
