Cel The objective of the project is to produce a photomask linewidth calibration standard covering the dimensional range 0.20 um up to 50 um, with a 95% confidence level uncertainty in the calibration of lines of at least +/- 0.02 um in the 0.2 um up to 10 um range, and of at least +/- 0.05 um in the 10 um to 50 um range. The standard, to be fabricated in high density chromium (optical density greater than 2.5 at 450 nm) on a fused quartz plate coated with a conducting layer, is to be suitable for use in both optical and electron beam systems. Initially, ten artefacts will be manufactured, three of these being calibrated and retained by the Commission, the National Physical Laboratory (NPL) and the Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB). Status: The work is in progress. Dziedzina nauki natural scienceschemical sciencesinorganic chemistrytransition metals Program(-y) FP2-BCR 4 - Research and development programme (EEC) in the field of applied metrology and chemical analysis (Community Bureau of Reference - BCR), 1988-1992 Temat(-y) Data not available Zaproszenie do składania wniosków Data not available System finansowania CSC - Cost-sharing contracts Koordynator National Physical Laboratory (NPL) Wkład UE Brak danych Adres Queen's Road TW11 0LW Teddington Zjednoczone Królestwo Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych Uczestnicy (4) Sortuj alfabetycznie Sortuj według wkładu UE Rozwiń wszystko Zwiń wszystko Dupont Photomask SA Francja Wkład UE Brak danych Adres Rue Olivier Perroy 13790 Rousset Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych National Microelectronics Research Center Irlandia Wkład UE Brak danych Adres Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych PHYSIKALISCH-TECHNISCHE BUNDESANSTALT Niemcy Wkład UE Brak danych Adres Bundesallee 100 BRAUNSCHWEIG Zobacz na mapie Linki Strona internetowa Opens in new window Koszt całkowity Brak danych Rutherford Appleton Laboratory (RAL) Zjednoczone Królestwo Wkład UE Brak danych Adres Chilton OX11 0QX Didcot Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych
