Development of a photomask linewidth standard

Informacje na temat projektu

Identyfikator umowy o grant: MTR176

Data rozpoczęcia

Data zakończenia

Finansowanie w ramach

• Research and development programme (EEC) in the field of applied metrology and chemical analysis (Community Bureau of Reference - BCR), 1988-1992

Koszt całkowity € 0,00

Wkład UE € 1 241 873,00

Koordynowany przez

National Physical Laboratory (NPL)
United Kingdom

Publikacje

Other (1)

The BCR sub-micrometre photomask linewidth standard CRM 676

Autorzy: NUNN J (National Physics Laboratory, Teddington (GB)), MIRANDE W (Physicalisch-Technische Bundesanstalt, Braunchweig (DE)), TALENE N (Du Pont Photomasks, Rousset (FR)), SALIERI P (CEC Bruxelles (BE))
Opublikowane w: EUR 18201 EN (1998) 54pp., free of charge, 1998, Strona(/y) 54, ISBN 92-828-3078-0