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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
CORDIS
Inhalt archiviert am 2024-06-18

Multi-functional Analytical Focussed ion beam tool for nanotechnology

Ziel

The project FIBLYS aims at developing an innovative nanostructuring, nanomanipulation and nanoanalysis instrument: a hybrid scanning probe (SPM) and dual beam focussed ion beam (FIB) instrument (including scanning electron microscopy (SEM) capabilities). In addition to an instrument based on conventional dual beam FIB(SEM) technology, an SPM/FIB(SEM) microscope will use both techniques, integrated in a compact setup offering capabilities that not only combine the techniques but allow for nanoanalysis and nanostructuring/-manipulation options that the single instrument or sequential use of the techniques is unable to achieve. This FIBLYS hybrid device will allow to use all FIB capabilities while imaging the procedures with the integrated SEM. The SEM has the options of chemical analysis through Energy Dispersive X-ray analysis (EDX) and structural analysis through Electron Backscatter diffraction (EBSD). The combination of SEM and SPM provides for the combination of nano-scale chemistry and crystallography imaging via electron-matter interactions (EDX, EBSD) with the information from tip-sample interactions like topography or magnetic/electrostatic force imaging. Combining electron-matter and tip-sample interactions, the FIBLYS hybrid instrument will for the first time allow to probe with nano-scale resolution many electron-matter interactions like detection of electron beam induced current (EBIC), or cathodoluminescence or phonons, or backscattered electrons directly at the surface with cantilever based sensors. This project will merge FIB(SEM) and SPM manufacturers at European level and reinforce their competitiveness. The partnership reflects the excellence and competences needed in this project, only possible through transnational co-operative research of six SMEs (SPM and FI(SEM) manufacturers, specialists in SPM and SEM control, expertise in electron/ion optics, cantilever manufacturers for SPM techniques as well as three RTD performers.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: https://op.europa.eu/de/web/eu-vocabularies/euroscivoc.

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Schlüsselbegriffe

Schlüsselbegriffe des Projekts, wie vom Projektkoordinator angegeben. Nicht zu verwechseln mit der EuroSciVoc-Taxonomie (Wissenschaftliches Gebiet).

Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

FP7-NMP-2007-SME-1
Andere Projekte für diesen Aufruf anzeigen

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

CP-TP - Collaborative Project targeted to a special group (such as SMEs)

Koordinator

LEIBNIZ-INSTITUT FUER PHOTONISCHE TECHNOLOGIEN E.V.
EU-Beitrag
€ 545 720,00
Adresse
Albert Einstein strasse 9
07745 Jena
Deutschland

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Region
Thüringen Thüringen Jena, Kreisfreie Stadt
Aktivitätstyp
Research Organisations
Links
Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (8)

Mein Booklet 0 0